电子枪

① 高稳定性(长期稳定无放电)

通过制造技术及模拟仿真技术来消除放电因素

② 高精度组装

利用光学显微镜进行高精度组装

③ 超高真空电子束(=10^-9Pa,@1atm=10^5Pa)生产

真空室可烘烤最大直径为Φ200毫米的零件。

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半导体制造设备销售负责区域


                                            销售经理 邱郑亮

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