① 高稳定性(长期稳定无放电)
通过制造技术及模拟仿真技术来消除放电因素
② 高精度组装
利用光学显微镜进行高精度组装
③ 超高真空电子束(=10^-9Pa,@1atm=10^5Pa)生产
真空室可烘烤最大直径为Φ200毫米的零件。
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